阀门维护：
一．维护及更新Needle Valves   
1）Needle Valves的应用范围：
可以应用在所有的半导体工程中，尤其广泛应用在需要真空状态及规定得注入气体的设备中(THIN-FILM,DIFFUSION,ETCH)。
2）工艺流程如下：